是再次。”
孔豫点了点头，这肯定是三管齐下。
他思考片刻，试图寻找这次活动的重点：“尼康这方面的技术有多强？”
方卓想了想，指了指自己桌上的文件，示意秘书拿给汽油男，然后说道：“尼康08年的时候推出过它的6镜头euv试验机euv1，用的是和asml试验机一样的微缩倍率、光学数值孔径、曝光视场。”
“前两年，它一直在各种光刻机会议上介绍它euv1的进展，08年的时候搞定了动态曝光测试，拿到全晶圆的32nm线／距报告结果，光学系统波像差已经低于0.4nm。”
“euv的3个核心，光源、镜头、掩膜台，尼康的日本供应商gigaphoton公司，它的lpp型（激光等离子体）光源当时已经实现了临时聚焦点if的60w，和asml的光源供应商美国的cymer是不相上下。”
“尼康出了两台euv1工具，一台在日本芯片联盟selete，一台在尼康的日本厂里，主要是给英特尔用。”
“这么说吧，你翻到最后，当时尼康与asml的差距大概是18个月。”
随着方卓的话，孔豫也把文件翻到了最后，对于尼康光刻
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