,芯材专注于arf光刻胶的研究,进度上嘛,还算可以,多次进行了小规模试验,调整的配方比例也在光化学反应性能上有明显的提升。
只是,这种提升还达不到理想的状态,等到走出实验室,扩大到中试规模,工艺流程的工业化适应性评估就出现了问题。
这便没法大脚步的再往下走,况且,后面也有不少关隘,要搞长时间存储稳定性和批次间一致性测试,要做晶圆厂兼容性验证,必须得确保光刻胶和冰芯的生产工艺无缝对接,还得做大量重复性与可靠性测试。
如此这些,最后还要建立稳定的生产工艺,保证大规模生产的每一批次的光刻胶性能一致。
“芯材走在了正确的路上。”
这是来自晶圆制造联盟的评价。
可惜,眼下的局面略显急迫。
阿美严选的压力已经施加过来,后续追加措施也隐约可见,鉴于如此形势,冰芯希望“芯材”可以先进行厂区的投资与建设,只要arf出了成果,初期的成本高一些都没问题。
但是,南大光电、晶瑞电材等参与研发的公司不太想同意这样的冒进。
“张总,我们的上一次测试结论已经出来了,现有工艺不适合大规模生产,
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