求更高的耐受性和稳定性，而且，为了适应多重曝光更复杂的流程，还需要光刻胶更高的曝光剂量窗口和显影条件，用以保证重复性和良率。”
光刻胶不单单是化学配方的问题，还需要对像底层抗反射涂层、顶层涂层等配套材料进行优化，以及对工艺进行全面的优化。
他知道梁博士在中芯那边做10nm的研发，一旦那边制程突破，接下来就会面临与冰芯这次类似的问题，届时在光刻胶方面还需要更复杂的调整，因为两边的工艺流程还不同。
但是，这些问题虽然难，相较于光刻胶短缺所导致的停产，又是两码事了。
方卓默默点头。
片刻之后感慨地说道：“终究还是磕磕绊绊的要走出来了。”
不管16nm还是10nm，这两种先进工艺都可以保证未来相当一段时间的竞争力，而这段时间又会继续反哺产业链的上下游，让它们继续进步，如此就能让整个体系查缺补漏的运转起来。
只要体系能运转起来，大问题会变成小问题，小问题会变成没问题。
“都快磕死了……”邱慈云深吸一口气，“这特娘的停产停工，我是一夜一夜的睡不着觉！”
方卓忍不住笑道：“我
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